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Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik = Recent developments in MEMS

Düren: Shaker Verlag et al., 2006-2019

Title

Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik = Recent developments in MEMS

Published

Düren: Shaker Verlag
Aachen: Shaker (früher)
2006-2019

Publication history

1.2006 - Band 31

ISSN

1862-5711 Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik

Language

Deutsch

Country

Deutschland

Topic

Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Elektrotechnik, Elektronik

Former / later titles

Fortgesetzt durch: Aktuelle Berichte aus Messtechnik und Data Engineering = Recent developments in measurement technology and data engineering

Further information

Ersch. unregelmäßig

Record ID

979656192

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Adaptierbares Messsystem zur Detektion von Gasen und Gerüchen basierend auf Halbleitergassensoren im temperaturzyklischen Betrieb

Charakterisierung und Optimierung von LTCC-Substraten und Metallisierungssystemen für Höchstfrequenzanwendungen

Development of continuos flow micro cell sorter using immune magnetophoresis

Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner

Entstickung der Rauchgase eines Steinkohlekraftwerkes mittels SNCR-Verfahren auf Basis eines neuen Modells der Temperaturverteilung im Dampferzeuger

Entwicklung und Charakterisierung eines modularen Gasmesssystems, basierend auf einer Kombination aus Halbleitergassensorik und Infrarotmesstechnik

Entwicklung von Wechselschaltern und Phasenschiebern im Ka- und W-Band basierend auf einer optimierten HF-MEMS-Technologie

Entwurf und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen Drehratensensors

Entwurf und Charakterisierung von mikromechanischen Drehratensensoren in Silizium

Entwurf und Charakterisierung von Mikrosensoren zur Charakterisierung von Flüssigkeitsgemischen

Entwurf und Realisierung von Messplattformen zur effizienten Entwicklung intelligenter Gasmesssysteme

Fully electronic CMOS DNA sensor chip

Funktionale Dünnschichten und deren Anwendung in Hochtemperatur-Drucksensoren

Gasmesssysteme basierend auf Halbleitergassensoren für sicherheitskritische Anwendungen mit dem Ansatz der Sensorselbstüberwachung

Hybride Mikrofluidiksysteme als programmierbare Umgebung zur Untersuchung biochemischer Modellreaktionen

Improving the performance of gas sensor systems with advanced data evaluation, operation, and calibration methods

Integration kapazitiver Silizium-Mikrofone in ein Chip Scale Package

Integriertes Multisensorsystem zur Zustandsüberwachung von Schmierflüssigkeiten

Methoden zur Funktionsüberwachung von Gassensoren mit Hilfe multimodaler Signale

Miniaturized piezoelectric actuators for high-speed flow control applications

Neue Membransensoren mit porösem Silizium

Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Funktionsschichten (Ni:a-C:H) für Drucksensoren

Resonante mikromechanische Energiewandler

Robuste dreidimensionale Hall-Sensoren für mehrachsige Positionsmesssysteme

Schallwandler in Silizium-Technologie

Selbstüberwachung und Autokalibrierung von Hall-Sensoren für die robuste Magnetfeldmessung

Selectivity enhancement of gas sensitive field effect transistors by dynamic operation

Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors

Untersuchung zum Einsatz von mikrostrukturierten Halbleitergassensoren in der heutigen Gebäudebrandmeldertechnik

Untersuchung zur Kalibrierbarkeit von Gassensoren im temperaturzyklischen Betrieb

Zustandsbewertung industrieller Prozesse mittels multivariater Sensordatenanalyse am Beispiel hydraulischer und elektromechanischer Antriebssysteme
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