Title |
Elektronenstrahl-rekristallisierte Siliziumschichten für Solarzellen auf Glas / Frank Karl Gromball |
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Involved |
Frank Karl Gromball (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
150 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Hamburg, Techn. Univ., Diss., 2006 |
ISBN |
978-3-8322-5517-6 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Silicium, PECVD-Verfahren, Rekristallisation, Elektronenstrahl, Borosilicatglas, Substrat (Mikroelektronik) |
DDC notation |
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Series |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Elektronenstrahl-rekristallisierte Siliziumschichten für Solarzellen auf Glas |
Record ID |
981583997 |
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