Title |
Elektrostatische Faserschalter in Silicium-Volumenmikromechanik / Dirk Nüsse |
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Involved |
Dirk Nüsse (Verfasser) |
Published |
Tönning, Lübeck, Marburg: Der Andere Verl. |
Extent |
139 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Dortmund, Univ., Diss., 2006 |
ISBN |
978-3-89959-567-3 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Elektrooptischer Schalter, Optische Bistabilität, Faseroptisches Bauelement, Siliciumbauelement, MEMS, Kostengünstige Konstruktion |
DDC notation |
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Record ID |
982966490 |
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