Title |
Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen / Michael Jank |
|---|---|
Involved |
Michael Jank (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
VI, 164 S. : graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006 |
ISBN |
978-3-8322-6159-7 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
MOS-FET, CMOS, Maskentechnik, Halbleitersubstrat, Ionenimplantation, Prozessoptimierung |
DDC notation |
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Series |
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 2007,1 |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen |
Record ID |
984080066 |
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