Title |
Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren / Peter Jörg Schorn |
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Involved |
Peter Jörg Schorn (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
IV, 162 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007 |
ISBN |
978-3-8322-6080-4 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
FRAM (Informatik), Schichtkondensator, PZT, Dünne Schicht, Materialermüdung, Werkstofffehler |
DDC notation |
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Series |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren |
Record ID |
984080155 |
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