Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Go to:

Media

Available in Frankfurt
Available in Frankfurt
Available in Leipzig
Available in Leipzig
Source
buchhandel.de

Marco Feldmann

Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik

Aachen: Shaker, 2007

Title

Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik / Marco Feldmann

Involved 

Marco Feldmann (Verfasser)

Published

Aachen: Shaker
2007

Extent

II, 182, 33 S. : Ill., graph. Darst.

Thesis

Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2007

ISBN

978-3-8322-6146-7

Language

Deutsch

Country

Deutschland

Topic

Industrielle und handwerkliche Fertigung

Subject

LIGA-Verfahren, Photoresist, Ultraviolett
Mikroaktor, Herstellung, LIGA-Verfahren
Mikrosensor, Herstellung, LIGA-Verfahren
Mikrofluidik, Gerätebau, LIGA-Verfahren

DDC notation

681

Series

Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; Bd. 20

Other editions

Erscheint auch als Online-Ausgabe: Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik

Record ID

98429855X
Please note

The beta version does not yet contain all functions and information of the DNB portal catalogue. If you are missing information or want to order a medium, please visit the page in the DNB portal catalogue via the following link:

DNB portal