Title |
Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen / Alexander Leopold |
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Involved |
Alexander Leopold (Verfasser) |
Published |
2003 |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
München, Techn. Univ., Diss., 2003 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Silicium, Wafer, Oberflächenreinigung, Wasserstoffperoxid, Komplexbildner, Einstufenprozess |
DDC notation |
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Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen |
Persistent identifier |
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Record ID |
985296860 |
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