Title |
Wasserstoff-induzierte Silizium-Schichtabtrennung durch Implantations- und Plasmaprozesse für die Herstellung von SOI-Substraten / von Wolfgang Düngen |
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Involved |
Wolfgang Düngen (Verfasser) |
Published |
Berlin: Logos-Verl. |
Extent |
VI, 119 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Hagen, Fernuniv., Diss., 2007 |
ISBN |
978-3-8325-1808-0 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
SOI-Technik, Halbleitersubstrat, Smart-cut-Verfahren, PECVD-Verfahren, Raman-Spektroskopie |
DDC notation |
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Record ID |
987218107 |
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