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Subject heading
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Allgemeinbegriff

Reaktives Sputtern

Sputtern

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Reaktives Sputtern

Synonym

Reaktive Kathodenzerstäubung (Thes.Technik)
Reactive sputtering
Reactive sputtering prozess

Broader term

Sputtern

Topic

Fertigungstechnik
Verfahrenstechnik, Technische Chemie

Source

Wikipedia unter Sputtern

Record type

Allgemeinbegriff

GND-Identifier

7625528-1

Record ID

990400352

Topic of

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Untersuchungen zur Synthese und Mikrostruktur von Ti2AlN-Dünnschichten sowie deren Schutzwirkung auf ferritische Stähle

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Erhöhung der piezoelektrischen Koeffizienten von gesputterten AlN-Dünnfilmen durch Dotieren mit Übergangsmetallen für MEMS

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Funktionsorientierte Mikrostrukturierung von Chromnitrid-Beschichtungen mittels hybrider PVD-Technologie

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Reactive sputter deposition

Reactive sputter deposition

Simulation des reaktiven Magnetron-Sputterns
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