Title |
Reaktive ionengestützte Prozesse für optische Hochleistungsschichten / von Henrik Ehlers |
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Involved |
Henrik Ehlers (Verfasser) |
Published |
2008 |
Extent |
X, 206 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Hannover, Univ., Diss., 2008 (Nicht für den Austausch) |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Optische Schicht, Ionenstrahlbeschichten, Prozessentwicklung (Technik) |
DDC notation |
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Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Reaktive ionengestützte Prozesse für optische Hochleistungsschichten |
Record ID |
993469612 |
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