Title |
2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder / Ulrich Buder |
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Involved |
Ulrich Buder (Verfasser) |
Published |
Düsseldorf: VDI-Verl. |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
XI, 165 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss. |
ISBN |
978-3-18-338209-5 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Wandschubspannung, Strömungssensor, Hitzdrahtanemometer, Sensor-Array, MEMS, Herstellung |
DDC notation |
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Series |
Fortschrittberichte VDI. Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; Nr. 382 |
Record ID |
994857705 |
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