Title |
Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle / Ronald Hellriegel |
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Involved |
Ronald Hellriegel (Verfasser) |
Published |
Norderstedt: Books on Demand GmbH |
Extent |
VI, 123 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2009 |
ISBN |
978-3-8391-0693-8 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Aufdampfen, Titannitrid, Vakuumkammer, Ablagerung, Reinigung, Plasmaätzen |
DDC notation |
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Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle |
Record ID |
995018766 |
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