Title |
Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle / Ronald Hellriegel |
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Involved |
Ronald Hellriegel (Verfasser) |
Published |
Norderstedt: Books on Demand |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Zugl.: Diss., TU Dresden |
ISBN |
978-3-8391-0693-8 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Aufdampfen, Titannitrid, Vakuumkammer, Ablagerung, Reinigung, Plasmaätzen |
DDC notation |
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Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle |
Persistent identifier |
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Further information |
Lizenzpflichtig. - Vom Verlag als Druckwerk on demand angeboten |
Record ID |
999039717 |
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